另外，由于石英晶体的高刚度，测量时相应的材料变形极小，一般在几微米之内，石英敏感元件的高固有频率特别适合于快速和动态过程的测量，它们不仅可以用于研发，也被广泛用于工业生产和试验过程。由于测量过程中几无形变，所以缓慢或准静态过程测量的误差很小。压电式传感器的缺点是某些压电材料需要防潮措施，而且输出的直流响应差，需要采用高输入阻抗电路或电荷放大器来克服这一缺陷。