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瑞典VMI Viber X5振动分析仪应用于地面振动检测包括芯片厂光刻机等
日期：2020-03-20 人气：288
许多工厂都有激光设备，例如芯片厂的光刻机等等。激光设备对振动非常敏感，因此对放置激光设备的地面振动要求非常高。通常我们会用地面微振动标准来判断放置激光设备的地面振动是否符合微振动标准。瑞典VMI *Viber X5振动分析仪精度高达0.001µm/s 轻松检测地面微振动。对于地面的振动要求极高，客户为了能够准确判断所以制作的减震平台是否符合VC防微振动标准，对于振动分析师的技术水平要求也是极高的，测量位置的选择、仪器参数的设置等只有稍微有偏差都会影响精度的可靠性。地面振动分析怎么做？光刻机如何做地面振动？*想要了解更多，欢迎点击：http://www.ks-jdy.com/product/17/

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